是的,目前国内已经有厂家生产DUV光刻机,这种设备不仅可以用于印刷电路和IC的制作,还可以用于晶片封装、芯片背面刻蚀等技术应用。
而且,目前国内的DUV光刻机的性能也可以满足用户的要求,使用起来也比较方便。
duv光刻机国产了吗求高手给解答
是的,目前国内已经有厂家生产DUV光刻机,这种设备不仅可以用于印刷电路和IC的制作,还可以用于晶片封装、芯片背面刻蚀等技术应用。
而且,目前国内的DUV光刻机的性能也可以满足用户的要求,使用起来也比较方便。
国产了
我国中芯国际已经突破了14nm工艺,能够实duv光刻机国产量产了。但是因为没有EUV光刻机,所以也无法量产7nm芯片。