电镜制样技术主要包括以下几种:
1. 常规金属薄膜制备:将金属样品通过真空蒸发、溅射或离子镀等方法制备成较薄的金属膜,作为电子显微镜观察的样品。
2. 冷冻断裂法:将生物样品快速冷冻,然后通过断裂的方式制备样品。该方法适用于观察生物样品的内部结构。
3. 离子切割法:利用离子束将样品表面削薄,制备出薄样品。该方法适用于对非导电材料的制备。
4. 离子抛光法:通过离子束对样品进行抛光,制备出平整的样品表面。该方法适用于制备金属、半导体等导电材料的样品。
5. 切片法:利用超薄切片机对样品进行切割,制备出薄样品。该方法适用于制备生物、材料等样品。