天准三坐标测量机最早是由英国发明的！三坐标测量机是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量仪或三坐标量床。

三坐标测量仪又可定义“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能测量的仪器”。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。三坐标测量仪也可定义为"一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，探测器以接触或非接触等方式采集传送讯号，三个轴的位移测量系统 ( 如光栅尺 ) 经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标(X、Y、Z)及各项功能测量的仪器".三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、几何精度及轮廓精度，逆向工程等.三坐标测量机的发展可划分为三代 ·第一代：世界上第一台测量机是英国的FERRANTI公司于20世纪50年代末研制成功的。

60年代初，意大利FIAT（菲亚特）汽车公司质量控制工程师的FraorincoSartorio先生，在意大利都灵市创建了DEA，成为世界上第一家专业制造坐标测量设备的商业公司。同时期英国LK TOOL发明了第一台桥式三坐标，并在之数十年中成为标准三坐标的标准构架。

70年代初，德国ZEISS公司使用计算机辅助工件坐标系代替机械对准，从此测量机具备了对工件基本几何元素尺寸、形位公差的检测功能。·第二代：随着计算机的飞速发展，测量机技术进入了CNC控制机时代，完成了复杂机械零件的测量和空间自由曲线曲面的测量，测量模式增加和完善了自学习功能，改善了人机界面，使用专门测量语言，提高了测量程序的开发效率。·第三代：从90年代开始，随着工业制造行业向集成化、柔性化和信息化发展，产品的设计、制造和检测趋向一体化，这就对作为检测设备的三坐标测量机提出了更高的要求，从而提出了第三代测量机的概念。其特点是：

1、具有与外界设备通讯的功能；

2、具有与CAD系统直接对话的标准数据协议格式；

3、硬件电路趋于集成化，并以计算机扩展卡的形式成为计算机的大型外部设备。