有多个专业可以学，如:光学、机械加工、电子电路、化学等。

光刻技术涉及到的知识有：光学、机械加工、电子电路、化学等多个学科知识。光刻技术的主要性能指标有：支持基片的尺寸范围，分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式。