BAW滤波器是没有换能器的,SAW滤波器才有。
BAW滤波器基本原理同SAW滤波器相同,不同的是BAW滤波器中声波垂直传播。同时电极的使用与薄膜压电层的厚度决定滤波器谐振频率,高频下薄膜压电层厚度在几微米量级,因此需要使用较高难度的薄膜沉积与微机械加工技术,制造难度与成本更高。BAW滤波器有FBAR类型以及SMR类型,两者结构略有差别。BAW滤波器可以直接在硅晶圆(6寸为主)加工设计,利用PVD或CVD设备实现压电薄膜的制备是其关键工艺环节,薄膜材料主要为氮化铝和氧化锌。
baw滤波器有换能器吗,麻烦给回复
BAW滤波器是没有换能器的,SAW滤波器才有。
BAW滤波器基本原理同SAW滤波器相同,不同的是BAW滤波器中声波垂直传播。同时电极的使用与薄膜压电层的厚度决定滤波器谐振频率,高频下薄膜压电层厚度在几微米量级,因此需要使用较高难度的薄膜沉积与微机械加工技术,制造难度与成本更高。BAW滤波器有FBAR类型以及SMR类型,两者结构略有差别。BAW滤波器可以直接在硅晶圆(6寸为主)加工设计,利用PVD或CVD设备实现压电薄膜的制备是其关键工艺环节,薄膜材料主要为氮化铝和氧化锌。
1. 有换能器。
2. baw滤波器中的换能器是指将电信号转换为机械振动的装置,它是baw滤波器的核心组成部分。换能器通过施加电场或电压来激发压电材料的机械振动,从而实现信号的滤波功能。
3. baw滤波器中的换能器不仅可以将电信号转换为机械振动,还可以将机械振动转换为电信号,实现信号的双向传输。这种双向转换的能力使得baw滤波器在无线通信、雷达系统等领域具有广泛的应用前景。