光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。
常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫MaskAlignmentSystem。目前,世界上能制造光刻机的国家有荷兰、日本、德国和中国。目前能制造高端光刻机的厂家有:荷兰ASML,日本Nikon,日本Canon,以及上海微电子装备和德国的欧泰克
哪个国家可以独立制造光刻机求高手给解答
光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。
常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫MaskAlignmentSystem。目前,世界上能制造光刻机的国家有荷兰、日本、德国和中国。目前能制造高端光刻机的厂家有:荷兰ASML,日本Nikon,日本Canon,以及上海微电子装备和德国的欧泰克
第一没有哪个国家能够独立制造光刻机,光刻机代表人类最高的智慧结晶,光零部件就数以万计,而且每一个零部件都是精密器件。
第二制造光刻机需要建立全球供应链体系,有的国家对精密轴承做的非常到位如瑞典、德国等,有的国家对镜头制造高端如日本、德国等……