文部省审查奖学金的过程通常包括以下几个步骤：

大学推荐：

日本的大学根据与国外大学之间的沟通协议，对计划到日本留学并申请奖学金的学生进行审阅，然后向文部科学省推荐。

材料审阅：

文部科学省听取选考委员会的定见后，对推荐的学生材料进行审阅。

面试和考试：

对于初选合格的学生，日本驻外使（领）馆在驻在国政府的配合下，进行面试和必要的书面考试。

最终决定：

日本驻外使（领）馆将初选合格的学生推荐给文部科学省，文部科学省在听取选考委员会的定见并与接受学校洽谈的基础上，最终决定合格者。

这个过程旨在确保奖学金的授予是基于学生的学术能力、研究计划以及是否符合文部省的教育政策。