SAT全称Scanning Acoustic Microscope，即扫描声学显微镜。它是一种利用高频超声波作为信号传播媒介，实现材料内部无损检测成像的专用设备。SAT可用于半导体电子、航空航天、新能源等多个行业，检测晶圆、封装器件、金属基板等样品的界面异常、分层、裂纹、夹杂物等内部缺陷，精度达到微米级。

SAT设备检测原理是超声波的反射与传输

SAT的检测原理是基于超声波在不同介质之间的反射与传播规律。当超声波信号传播至样品内部两种不同材质之间的界面时，会发生一定程度的反射和一定程度的穿透。SAT正是通过分析接收到的反射波和穿透波的信号变化，来判断材料内部是否存在界面异常、裂纹、空洞等缺陷，并可以将信号变化成像，直观地展示出材料内部的图像。

SAT设备的几种常见扫描模式

SAT设备最常见的扫描模式有A模式、B模式、C模式扫描。A模式扫描是对单一点的波形分析;B模式扫描可以得到样品剖面图像;C模式扫描可以得到样品平面图像。这些扫描模式各有优势，能够全面检测样品的内部质量。除此之外，SAT设备还有透射扫描、分焦距扫描等模式，可以实现不同检测需要。

SAT设备与X光机的区别与互补性

SAT与X光机都是重要的无损检测设备，两者互为补充。X光机基于材料密度差异成像，对界面不敏感;而SAT可以轻易检测到样品内部的分层等界面异常。另外，X光机整体透射样品，可能损坏半导体器件;SAT使用安全的高频超声波，不会损坏被检测器件。所以，SAT与X光机常被同时使用，以发挥各自优势，得到更全面准确的检测结果。

SAT设备的应用范围极为广泛

SAT设备应用极为广泛，可用于半导体电子行业、新能源、航天航空、材料科学等多个领域，检测晶圆、IC封装、电池、金属材料、复合材料等样品，发现界面异常、裂纹、空洞等各类内部缺陷。随着科技的发展，SAT的检测能力也在不断提高，分辨率达到了微米甚至纳米级，使其在半导体芯片检测等领域发挥着越来越重要的作用。

SAT是一种利用超声波进行无损内部成像检测的专用设备。它可轻易发现样品内部各类缺陷，应用范围极广，与X光机互为补充。随着科技进步，SAT机的性能也在不断提升。

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